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Vortrag im FORUM TECHNOLOGIEPARK VS
in Villingen-Schwenningen Am Krebsgraben 15, Tor A, im Haus 8 I, 1.OG

Der Vortrag von Dipl.-Ing. Eric Lelong:

"Mikroschaltungen in Keramik der Firma C-MAC"

am 15. Februar 2000 in Zusammenarbeit mit dem VDE gab Aufschluss in eine Zukunftstechnologie.

Die Präsentation der Keramik-Technologie LTCC (Low Temperature Cofire Ceramic),
gemeinsames Einbrennen der Keramik bei niederer Temperatur) machte deutlich, welch hohes
Know How bei C-MAC Villingen zur Verfügung steht.
Die Schaltungsträger mit 4 bis 10 Leiterbahn-Ebenen sind besonders geeignet für komplexe
Lösungen. Hohe Temperaturfestigkeit, gute Wärmeableitung, kompakter Aufbau und eine Eignung
für hohe Frequenzen auch im zweistelligen GigaHertz-Bereich zeichnet die zukunftsweisende
Technologie aus. In der mehrlagigen Keramik werden die Kontakte zwischen den Lagen durch
sogenannte Vias (Wege) von 150 µm elektrisch verbunden. Die Vias benötigen keinen zusätzlichen
Raum, da sie direkt von Leiterbahn zu Leiterbahn führen können. Ein Substrat ( Schaltungsträger)
mit fünf Lagen ist gerade mal 0,5 mm dick. Diese Technologie erlaubt implementierte Widerstände,
Kondensatoren undSpulenn. Integrierte Schaltungen können direkt auf das Substrat gebondet
werden Gold-/Aluminium-Draht Bonding COB).

Anwendungen findet diese Technologie vor Allem in der Autoelektronik (Motorsteuerungen,
Getriebeelektonik, ABS etc.), Handy-Geräten und als Träger für integrierte Schaltungen (Packaging).

Die Fertigung ist bei C-MAC Villingen einmalig in Europa. Die Maschinen und Handhabungsgeräte
sind Spezialentwicklungen. Für Keramik-Substrate ist das Format ungewöhnlich groß.
Bei vielen Prozessschritten wird das Substrat im Format 8" X 8" verarbeitet und das mit einer
Genauigkeit von 0,1 mm. Die Folien (Green Tape) werden gar in einer Breite von 16" produziert.
Um die hohe Qualität zu sichern, sind die Prozesse weitestgehend automatisiert und durch
optische Kontrollen abgesichert. Der hohe Automatisierungsgrad lässt sich auch an der
vergleichsweise geringen Mitarbeiterzahl von wenig mehr als 20 Spezialisten ablesen.
Für Produktionssteigerungen werden allerdings noch einige Dutzend Fachkräfte in den nächsten
Jahren hinzukommen.

Bilder zum Vortrag